牟昌華 控制氣也為爭口氣

人物小傳

牟昌華，北京七星華創流量計有限公司總經理，教授級高級工程師，工學博士。

牟昌華在氣體質量流量測量和控制領域工作多年，申請獲得專利近20余項，成功研發了CS200、CS300、CS230G多個系列產品，廣泛應用于我國大規模集成電路裝備、光伏、真空等領域，打破了國外對我國的技術壟斷。2012年獲得北京科技二等獎，2015年獲北京科技三等獎。

牟昌華曾榮獲“2010年北京市勞模”、“2013年全國五一勞動獎章”、“2015年全國勞模”。

如何作自我介紹，是常常讓牟昌華感到頭疼的事。在介紹自己時，他總是愛用“工程師”來作概括，但一提到他的研究領域，牟昌華不得不放慢語速，耐心地向對方講解上十幾分鐘。很多時候，他還要用上比喻的修辭手法——他的研究太“冷門”了。

雖然“冷”，但至關重要。牟昌華所研究的，是一種名為“氣體質量流量控制器”的裝置，這是一種曾經被西方發達國家技術壟斷的先進設備，眾多工業領域都會用到。

核心

“冷門技術”

生活中的“熱應用”

“舉個例子，我們手機的觸摸屏、外殼、芯片，它們的制造都要用到它。”牟昌華打了個比方，氣體質量流量控制器就像家里的水龍頭。水流太小，菜洗不干凈，水流太大，就會造成浪費。水流要開多大，除了要靠水龍頭，要靠人的大腦、眼睛和手來調節。“我們的產品就相當于把人和水龍頭結合在一起，可以精確地控制你想要的氣體的流量。”

這樣說，可能還會有許多人不理解氣體質量流量控制器的用途。但是在我們生活中的方方面面，都在和它發生著聯系。比如手機的金屬外殼，就是把外殼放在一個真空的環境中，然后通入特殊的氣體來給它上色的。如果氣體的流量和質量控制不好，那么不同批次的手機外殼顏色可能就會有差別。

再比如街頭常見的共享單車，車頭的籃筐里都會有一塊光伏太陽能板。其實，在光伏太陽能電池片的制備中，需要靠氣體來鍍膜，靠氣體來刻蝕，靠氣體來清洗，許多重要環節都是要靠氣體質量流量控制器來承擔。因此，在類半導體產業中，包括光伏行業、LED行業，對氣體控制要求很高，對氣體質量流量控制的要求也很高。在集成電路裝備產業里面，氣體質量流量控制也是非常核心的一個環節。

苦干

磨劍三年 挑戰世界先進水平

一個這么神奇的設備到底有多大呢？其實，氣體質量流量控制器的體積很小，不過比手機大一點。可就是這么一個小小的“盒子”，中國人卻曾經生產不出來。可以說，國產氣體質量流量控制器的誕生，是國外的技術封鎖逼出來的。

2005年，牟昌華博士畢業，成了一名應用工程師。那個時候，國外進口的設備獨步天下，相關技術也為西方發達國家所壟斷。當時國內只能生產一些模擬產品，這樣的產品根本談不上高精尖，只能應用于一些低端產業中。國產設備不僅精度比較差，反應時間長達5到8秒，而且很不穩定，故障頻頻。

剛入行的日子里，牟昌華的角色更像個售后客服，每天都能接到客戶的抱怨。有一次，他去深圳一個客戶那里，客戶向他“演示”設備的各種故障，他自己都沒法解釋。“當時很有挫敗感，而且問題解決不了，只能退貨。”

知恥而后勇。2006年，牟昌華向世界先進水平發起挑戰，主持研發國產新一代數字氣體質量流量控制器。國內高校沒有氣體質量流量控制專業，而且國外還有技術封鎖，即便拆開了人家的設備，也不知道其中的原理。牟昌華帶領著五六個人的研發團隊，苦心孤詣地研究了三年。那段時間，牟昌華和他的團隊是在無休止的加班中度過的。回想起這段日子，牟昌華感慨：雖然累，但是很充實。“我們每天都能發現問題，每天都會有進步。”開發一個配套軟件，國外的團隊可能需要一到兩年，而他們用了12個星期就做出來了。

責任

親自“排險” 檢驗產品對客戶負責

2009年，項目組成功研制了CS200氣體質量流量控制器，這是國內第一款自主研發的數字產品。在外界看來，辛勤工作有了成果，從此可以高枕無憂了。但在牟昌華看來，這僅僅是一個開始。因為產品是否稱得上成功，還要靠市場的檢驗。

正如他所料，CS200投放到市場之后，出現了一系列的問題。在產品問世后的兩年間，牟昌華一直在出差。“我可能上午、中午、晚上都會在不同的城市，所以我養成了一個習慣，每天晚上都會在床頭放上第二天的早餐，這樣一起床就能直接出門了。”那段時間里，牟昌華陪伴家人的日子屈指可數。但為了能夠多陪伴家人一會兒，只要工作一做完，無論多晚，他都要乘坐“紅眼航班”飛回北京。

牟昌華說，他之所以要親自出馬，是為了能夠第一時間知道客戶的抱怨。“因為這個產品是一個綜合性的產品，當出故障之后，你很難判斷這個問題是在哪個地方：是在機械，還是電氣，還是在軟件上……我看這個產品，就像看我們家孩子一樣，我能知道他在哪個地方會有問題，自己去的話就可以心中有數。”

在團隊中，牟昌華的責任心強是公認的。一次，天津一個客戶反饋設備有問題無法解決，牟昌華凌晨3點就來到了單位，思考問題的解決方案。“我到辦公室列了個單子，把帶哪些設備，做哪些實驗都列在了上面。”經過腦海中的反復推演，牟昌華才動身去車站。到了天津，他發現問題并不是出在他的產品上，但他還是幫客戶順利地解決了問題。牟昌華坦言，他之所以如此重視這次“險情”，是因為關系到客戶的一套價值上千萬元的設備，出于對客戶負責的態度，他理應這樣。

奮斗

不吃老本

科研領域不斷前行

說到技術，牟昌華變得興奮起來。他所從事的事業，是一種對氣體進行精確測量和控制的解決方案，全世界都在使用。毫不夸張地說，一個國家對氣體控制的水平高低，決定著一個國家工業水平的高低。在國內，掌握這項技術的團隊只此一家，他們的產品達到了世界頂尖水平，競爭對手基本上都來自國外。

取得這樣的成績，牟昌華身上的擔子依舊沒有輕下來。“一個問題解決了，前面還會有十個問題在等著你，科研工作就是這樣把你往前推，而不能吃老本。”他說，現在他們的售后問題越來越少了，產能問題卻越來越凸顯。

前不久，牟昌華的單位搬到了位于亦莊的新廠房。整理資料的時候，牟昌華找到了一張幾年前的生產指標。“當時半年才能生產3000臺，現在一個月的出貨量就不止這些了。”這一數字的變化，反映了國內企業對于氣體質量流量控制裝備的需求越來越大，也折射出國家制造水平的提高。